大兴区
职位详情
岗位职责：
1. 新机台射频传输系统设计：承担下一代半导体工艺设备中射频传输路径的规划与优化工作，涵盖射频馈入结构、匹配网络、传输线及腔体接口等核心部件的电磁场仿真分析与工程落地。
2. 量产机台射频问题攻关：主导处理客户端量产设备出现的各类复杂射频故障，包括腔体打火（arcing）、射频反射功率异常、阻抗不匹配、功率耦合波动等问题的技术排查与解决。
3. 等离子体稳定性优化：深入研究射频参数与等离子体行为之间的关联机制，优化射频激励策略与波形配置，提升腔室内等离子体点火成功率、放电均匀性及长期运行的稳定性。
4. 故障机理研究与复现：针对客户现场突发的射频异常现象，构建理论分析模型并设计实验复现方案，精准定位根本原因，制定有效的工程改进措施并推动闭环实施。
5. 跨部门技术协同：与电气、机械、软件及工艺团队密切配合，全程参与新设备从概念阶段到客户验证的技术流程，提供射频子系统的专业评估与决策支持。
6. 技术平台化建设：归纳总结射频设计标准与问题诊断方法，建立统一的仿真规范、测试流程及典型失效案例数据库，增强公司射频工程技术体系的系统化与可复用水平。
任职资格：
1. 具备15年以上半导体设备或相关领域射频系统研发背景，其中至少10年聚焦于刻蚀、PECVD、PVD、离子注入等涉及等离子体工艺设备的射频工程实践。
2. 拥有完整的射频链路设计与调试项目经验，熟悉13.56MHz、2MHz、400kHz等工业常用频段及多频射频系统的架构设计与匹配技术。
3. 具备丰富的量产设备射频问题现场分析与处置经历，对arcing成因、射频反射机制、功率耦合失效等情况有深刻理解并具备成功解决案例。
4. 精通电磁场仿真工具（如COMSOL、HFSS、CST等），能独立完成射频结构建模、S参数提取、场强分布模拟及阻抗匹配方案设计。
5. 深入掌握容性/感性耦合等离子体放电原理，了解射频功率在等离子体负载下呈现的非线性响应特性。
6. 熟练操作网络分析仪、射频功率计、电压/电流探针、阻抗分析仪等常用测试仪器，具备扎实的射频测量与调试能力。
7. 熟悉射频匹配网络的拓扑类型及自动匹配控制逻辑，有匹配器设计或选型经验者优先考虑。
8. 具备出色的工程问题分析与系统性解决能力，能在复杂工况中快速识别关键因素并锁定根本原因。
9. 具备良好的跨团队沟通协作意识，能够与工艺、软件、机械等多方团队高效协同推进项目。
10. 具有严谨的逻辑思维能力和文档整理习惯，善于将实际项目经验沉淀为标准化技术文件。
11. 特别优秀者条件可适当放宽。
1. 新机台射频传输系统设计：承担下一代半导体工艺设备中射频传输路径的规划与优化工作，涵盖射频馈入结构、匹配网络、传输线及腔体接口等核心部件的电磁场仿真分析与工程落地。
2. 量产机台射频问题攻关：主导处理客户端量产设备出现的各类复杂射频故障，包括腔体打火（arcing）、射频反射功率异常、阻抗不匹配、功率耦合波动等问题的技术排查与解决。
3. 等离子体稳定性优化：深入研究射频参数与等离子体行为之间的关联机制，优化射频激励策略与波形配置，提升腔室内等离子体点火成功率、放电均匀性及长期运行的稳定性。
4. 故障机理研究与复现：针对客户现场突发的射频异常现象，构建理论分析模型并设计实验复现方案，精准定位根本原因，制定有效的工程改进措施并推动闭环实施。
5. 跨部门技术协同：与电气、机械、软件及工艺团队密切配合，全程参与新设备从概念阶段到客户验证的技术流程，提供射频子系统的专业评估与决策支持。
6. 技术平台化建设：归纳总结射频设计标准与问题诊断方法，建立统一的仿真规范、测试流程及典型失效案例数据库，增强公司射频工程技术体系的系统化与可复用水平。
任职资格：
1. 具备15年以上半导体设备或相关领域射频系统研发背景，其中至少10年聚焦于刻蚀、PECVD、PVD、离子注入等涉及等离子体工艺设备的射频工程实践。
2. 拥有完整的射频链路设计与调试项目经验，熟悉13.56MHz、2MHz、400kHz等工业常用频段及多频射频系统的架构设计与匹配技术。
3. 具备丰富的量产设备射频问题现场分析与处置经历，对arcing成因、射频反射机制、功率耦合失效等情况有深刻理解并具备成功解决案例。
4. 精通电磁场仿真工具（如COMSOL、HFSS、CST等），能独立完成射频结构建模、S参数提取、场强分布模拟及阻抗匹配方案设计。
5. 深入掌握容性/感性耦合等离子体放电原理，了解射频功率在等离子体负载下呈现的非线性响应特性。
6. 熟练操作网络分析仪、射频功率计、电压/电流探针、阻抗分析仪等常用测试仪器，具备扎实的射频测量与调试能力。
7. 熟悉射频匹配网络的拓扑类型及自动匹配控制逻辑，有匹配器设计或选型经验者优先考虑。
8. 具备出色的工程问题分析与系统性解决能力，能在复杂工况中快速识别关键因素并锁定根本原因。
9. 具备良好的跨团队沟通协作意识，能够与工艺、软件、机械等多方团队高效协同推进项目。
10. 具有严谨的逻辑思维能力和文档整理习惯，善于将实际项目经验沉淀为标准化技术文件。
11. 特别优秀者条件可适当放宽。
2026-06-06 15:22
IP属地：北京
职位福利
本科10年以上电磁场仿真电容性/感性耦合
鱼泡安全保障
如遇到办证收费、刷单、传销、诱导买车等违规行为，请立即向鱼泡直聘投诉举报投诉举报 >
附近适合您的职位
收藏职位
