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主要职责
1、负责PVD设备整机及子系统(包括真空腔体、磁体、加热系统、气体分配系统等)的设计开发与性能优化。
2、主导真空腔体的结构设计与仿真分析,确保其在工艺运行中的稳定性、均匀性及低颗粒污染特性。
3、牵头磁体系统的方案设计与改进,实现对薄膜沉积均匀性与晶体质量的精确调控。
4、开展温度场、流体场、电磁场等多物理场耦合仿真及实验验证,提升设备工艺表现与运行可靠性。
5、制定并实施颗粒物控制与膜层均匀性优化策略,助力设备在客户现场达到优异工艺指标。
6、带领技术团队攻克核心难题,编制设计文件、专利材料及相关技术文档。
7、协同跨部门资源,保障研发项目按期高质量完成,并配合市场与客户进行技术沟通与支持。

任职要求
1、本科及以上学历,机械工程、物理、材料科学、真空工程等相关专业背景。
2、具备8年以上PVD设备研发经历,有国内主流半导体设备公司工作经验者优先考虑。
3、精通PVD设备硬件体系结构,拥有丰富的真空腔体结构设计与优化经验(重点考察方向)。
4、掌握磁体系统(如磁控溅射中磁路结构)的设计原理与工程实现方法。
5、熟练运用温场、流场仿真工具(如CFD),具备独立开展仿真分析与实验调优的能力。
6、具有成熟的颗粒控制与薄膜均匀性(uniformity)改善经验,熟悉相关检测手段与分析流程。
2026-09-15 14:16
IP属地:广东深圳

职位福利

本科10年以上半导体设备设计研发PVD设备薄膜设备
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深圳市辰中科技有限公司
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