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苏州
职位详情
主要职责
1、负责PVD设备整机及子系统（真空腔体、磁体、加热系统、气体分配系统等）的设计开发与性能优化。
2、主导真空腔体的结构设计与仿真分析，确保其在工艺运行中的稳定性、均匀性及低颗粒污染特性。
3、牵头磁体系统的设计与改进，实现对薄膜沉积均匀性与晶体质量的精确调控。
4、开展温场、流场、电磁场等多物理场联合仿真与实验验证，提升设备工艺能力与长期可靠性。
5、制定并实施particle控制与uniformity优化策略，助力设备在客户现场达成优异工艺表现。
6、带领技术团队攻克核心难题，编制设计文件、专利申请及技术总结报告。
7、协同跨部门资源，保障研发项目按期高质量完成，并配合市场与客户进行技术沟通支持。
任职要求
1、本科及以上学历，机械工程、物理、材料科学、真空工程等相关专业背景。
2、具备8年以上PVD设备研发经历，有国内主流半导体设备公司工作经验者优先考虑。
3、精通PVD设备硬件系统设计，尤其在真空腔体结构设计与优化方面具有扎实实践经验（重点要求）。
4、掌握磁体系统（如磁控溅射磁路）设计原理与工程实现方法。
5、熟练运用温场、流场仿真工具（如CFD），具备独立开展仿真分析与实验调优的能力。
6、拥有丰富的particle控制与薄膜均匀性（uniformity）改善经验，熟悉相关检测手段与分析流程。
1、负责PVD设备整机及子系统（真空腔体、磁体、加热系统、气体分配系统等）的设计开发与性能优化。
2、主导真空腔体的结构设计与仿真分析，确保其在工艺运行中的稳定性、均匀性及低颗粒污染特性。
3、牵头磁体系统的设计与改进，实现对薄膜沉积均匀性与晶体质量的精确调控。
4、开展温场、流场、电磁场等多物理场联合仿真与实验验证，提升设备工艺能力与长期可靠性。
5、制定并实施particle控制与uniformity优化策略，助力设备在客户现场达成优异工艺表现。
6、带领技术团队攻克核心难题，编制设计文件、专利申请及技术总结报告。
7、协同跨部门资源，保障研发项目按期高质量完成，并配合市场与客户进行技术沟通支持。
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1、本科及以上学历，机械工程、物理、材料科学、真空工程等相关专业背景。
2、具备8年以上PVD设备研发经历，有国内主流半导体设备公司工作经验者优先考虑。
3、精通PVD设备硬件系统设计，尤其在真空腔体结构设计与优化方面具有扎实实践经验（重点要求）。
4、掌握磁体系统（如磁控溅射磁路）设计原理与工程实现方法。
5、熟练运用温场、流场仿真工具（如CFD），具备独立开展仿真分析与实验调优的能力。
6、拥有丰富的particle控制与薄膜均匀性（uniformity）改善经验，熟悉相关检测手段与分析流程。
2026-11-01 13:22
IP属地：江苏苏州
职位福利
本科10年以上半导体设备设计研发PVD设备薄膜设备
深圳市辰中科技有限公司
工作地址
鱼泡安全保障
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